Philtech Inc. (Japan)
半導体製造装置や材料、電気特性の評価用に使われるウエハのことで、ダミーウエハとも呼ばれる。評価内容によって、ベアウエハ、ベタ膜付きウエハ、パターン付きウエハなど様々なテストウエハを使い分ける。 バイオメタンと過熱スチームをRu触媒に600℃で衝突させると水素を発生させる。 HeatBeamシリンダーを使うことで小型の装置で白金触媒を使わずに水素を発生させることができる。 弊社製品をご検討いただく際によく使われる様々な用語を解説しています。 もっとご覧になりたい方は「その他用語集はこちら」ボタンをクリックしてください。 プラズマや荷電粒子を用いる半導体製造工程では、そのプラズマや荷電粒子のチャージが再分布してMOS構造のゲート酸化膜を貫いて電界を形成する。 与えられた圧力のもとで飽和水蒸気より高い温度の水蒸気を指す。 有機物と反応して化合物を作る。 無酸素で高温加熱できるので、乾燥に使われる。
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- Category: business
- Website: https://www.philtech.co.jp
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Evidence and Sources
- Philtech Inc. (Japan) — Official Site (official)
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AI summary
半導体製造装置や材料、電気特性の評価用に使われるウエハのことで、ダミーウエハとも呼ばれる。評価内容によって、ベアウエハ、ベタ膜付きウエハ、パターン付きウエハなど様々なテストウエハを使い分ける。 バイオメタンと過熱スチームをRu触媒に600℃で衝突させると水素を発生させる。 HeatBeamシリンダーを使うことで小型の装置で白金触媒を使わずに水素を発生させることができる。 弊社製品をご検討いただく際によく使われる様々な用語を解説しています。 もっとご覧になりたい方は「その他用語集はこちら」ボタンをクリックしてください。 プラズマや荷電粒子を用いる半導体製造工程では、そのプラズマや荷電粒子のチャージが再分布してMOS構造のゲート酸化膜を貫いて電界を形成する。 与えられた圧力のもとで飽和水蒸気より高い温度の水蒸気を指す。 有機物と反応して化合物を作る。 無酸素で高温加熱できるので、乾燥に使われる。
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